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        • OTL1200 單溫區PECVD系統

          OTL1200 單溫區PECVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統,最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

          更新時間:2022-03-31
          型號:
          廠商性質:生產廠家
          瀏覽量:187
        • RTF1200轉動式PECVD系統

          RTF1200轉動式PECVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統,最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

          更新時間:2022-03-31
          型號:
          廠商性質:生產廠家
          瀏覽量:159
        • OTL1200單溫區CVD系統

          OTL1200單溫區CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統,最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

          更新時間:2022-03-31
          型號:
          廠商性質:生產廠家
          瀏覽量:175
        • OTL1200單溫區可調真空CVD雙管爐

          OTL1200單溫區可調真空CVD雙管爐由供氣系統+管式爐+抽氣系統,最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

          更新時間:2022-03-31
          型號:
          廠商性質:生產廠家
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